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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 金属 » 测试表征 » EDS能谱的分辨率问题
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dmu_sj

金虫 (小有名气)
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9楼: Originally posted by lrefb at 2013-01-19 09:46:48
EDS是元素含量的检测，应该和颗粒大小没有关系。轻元素（10号以前）用EDX能谱，重元素（10以后）用EDS能谱。个人拙见！

EDX和EDS是一回事，只是写法不一样。一般都是用EDS简写。是指的电子能量散射谱
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11楼2013-01-19 10:40:43
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kiddyse

银虫 (小有名气)
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小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
根据我的认识，EDS其实并不是很准确，它对于轻元素，比如氧以前的元素是测不准的，可能对于个别的EDS来说，硼以前的元素都是检测不到的。这个和俄歇电子能谱AES刚好相反，AES的结果常常碳和氧的含量很高，甚至能达到50%，而EDS常常检测不出。另一方面，EDS它的束斑尺寸大约为1μm（这个我也不知道具体的数据，而且各个型号的EDS应该有一定的差异），如果要测的样品尺寸小于1μm，个人认为做EDS的意义就不是很大了…
另外补充一点，就是EDS仪器本身就有接近1at%的误差…
所以可以看出，EDS只能较为接近地反映出较大颗粒，较重元素的含量…

[ Last edited by kiddyse on 2013-1-19 at 19:42 ]
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12楼2013-01-19 19:40:02
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xiexingfei

木虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
我用的EDS能谱的精度是0.3%，颗粒太小肯定会受到周围基体的影响
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13楼2013-01-19 19:42:00
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imtony

木虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
和颗粒大小没有关系吧？
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金属功能材料
14楼2013-01-20 21:30:41
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wanldcr

木虫 (正式写手)
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小颗粒没问题，几个微米的都可以的
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人在江湖混，遇事要镇定，让子弹再飞一会
15楼2013-01-21 13:08:29
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comego2468

铁虫 (小有名气)
引用回帖:
15楼: Originally posted by wanldcr at 2013-01-21 13:08:29
小颗粒没问题，几个微米的都可以的

纳米级的呢。我掺的是纳米级
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16楼2013-01-21 14:09:22
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elma2001

银虫 (小有名气)
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目前的EDS设备检测极限多是0.1%，波谱可以到0.01%。检测的深度与参数有关，X射线的出射是一个体积效应，也就是说，即使你EDS采集的是一个点，实际上采集到的信号也是围绕这个点的一定体积范围内发射出来的。如果电压是20KV，材料为钢，可能出射范围在1~2微米，如果材料为Si，出射范围会更大，可能4微米也是可能的，具体数值记不清了，楼主可以查一查。电压升高，出射体积变大；束斑增加，出射体积变大；材料平均原子序数越高出射体积越小。如果是很小的颗粒，最终的结果是包括了基体的效应的，不能真实反映小颗粒本身的成分。
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17楼2013-01-21 14:28:15
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gpwang526

木虫 (知名作家)
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小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
跟颗粒大小无关，但与含量以及元素有关，元素原子序数大容易检测到，含量底于1%比较难检测到。另外样品要均匀，如果分布不均匀，则刚好测量到没有该元素的区域则当然检测不到了
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坚持到底永不放弃
18楼2013-01-21 16:28:20
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wanldcr

木虫 (正式写手)
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小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
16楼: Originally posted by comego2468 at 2013-01-21 14:09:22
纳米级的呢。我掺的是纳米级...

你要测的粒子是微米级的可以看到，是纳米粒子的话，能谱也应该可以打的，但是不能看到粒子内部的元素分布，但一定区域内某种元素的含量是没问题的
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人在江湖混，遇事要镇定，让子弹再飞一会
19楼2013-01-22 21:30:26
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ausir

木虫 (正式写手)
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引用回帖:
7楼: Originally posted by bushliu5516 at 2013-01-18 22:47:08
10号以后的元素，检测限是0.5%，并不是高于0.5%的都能捡到，而是能检测到的应该大于0.5%。是个不要不充分条件。10号以前的就说不准了。当然和调试方法，样品类型等有关。...

支持你的看法。

EDS的检测主要与浓度有关。如果是小于检测限的浓度，基本不用考虑。对于10号以前的元素，是比较难检测。
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20楼2013-05-05 11:32:35
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