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comego2468

铁虫 (小有名气)

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[交流] EDS能谱的分辨率问题已有13人参与

做了一些参杂的研究。想了解一下EDS能谱的分辨率问题。就是能谱能检测出来的元素与其在试样中的分布、含量应该是有关的。比如，含量相同时，1.颗粒尺寸非常小，数量较多，2.颗粒尺寸较大，数量较少。这两种情况下是否都能被检测到，能谱的检测是否与颗粒的大小有关，有没有可能是当颗粒尺寸小到一定范围时，就很难被检测到了。

求大牛指导啊，或者介绍些相关的资料。

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1楼 2013-01-18 11:03:22

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ausir

木虫 (正式写手)

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专业: 集成电路制造与封装

★
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引用回帖:

7楼: Originally posted by bushliu5516 at 2013-01-18 22:47:08
10号以后的元素，检测限是0.5%，并不是高于0.5%的都能捡到，而是能检测到的应该大于0.5%。是个不要不充分条件。10号以前的就说不准了。当然和调试方法，样品类型等有关。

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