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comego2468

铁虫 (小有名气)

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[交流] EDS能谱的分辨率问题已有13人参与

做了一些参杂的研究。想了解一下EDS能谱的分辨率问题。就是能谱能检测出来的元素与其在试样中的分布、含量应该是有关的。比如，含量相同时，1.颗粒尺寸非常小，数量较多，2.颗粒尺寸较大，数量较少。这两种情况下是否都能被检测到，能谱的检测是否与颗粒的大小有关，有没有可能是当颗粒尺寸小到一定范围时，就很难被检测到了。

求大牛指导啊，或者介绍些相关的资料。

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1楼2013-01-18 11:03:22

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kiddyse

银虫 (小有名气)

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★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖

根据我的认识，EDS其实并不是很准确，它对于轻元素，比如氧以前的元素是测不准的，可能对于个别的EDS来说，硼以前的元素都是检测不到的。这个和俄歇电子能谱AES刚好相反，AES的结果常常碳和氧的含量很高，甚至能达到50%，而EDS常常检测不出。另一方面，EDS它的束斑尺寸大约为1μm（这个我也不知道具体的数据，而且各个型号的EDS应该有一定的差异），如果要测的样品尺寸小于1μm，个人认为做EDS的意义就不是很大了…
另外补充一点，就是EDS仪器本身就有接近1at%的误差…
所以可以看出，EDS只能较为接近地反映出较大颗粒，较重元素的含量…

[ Last edited by kiddyse on 2013-1-19 at 19:42 ]