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comego2468

铁虫 (小有名气)

应助: 0 (幼儿园)
金币: 168.1
帖子: 135
在线: 86.7小时
虫号: 1389502
注册: 2011-09-04
专业: 集成电路制造与封装

[交流] EDS能谱的分辨率问题已有13人参与

做了一些参杂的研究。想了解一下EDS能谱的分辨率问题。就是能谱能检测出来的元素与其在试样中的分布、含量应该是有关的。比如，含量相同时，1.颗粒尺寸非常小，数量较多，2.颗粒尺寸较大，数量较少。这两种情况下是否都能被检测到，能谱的检测是否与颗粒的大小有关，有没有可能是当颗粒尺寸小到一定范围时，就很难被检测到了。

求大牛指导啊，或者介绍些相关的资料。

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1楼 2013-01-18 11:03:22

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

elma2001

银虫 (小有名气)

应助: 1 (幼儿园)
金币: 348.5
帖子: 51
在线: 21.7小时
虫号: 511041
注册: 2008-02-25
专业: 金属材料的合金相、相变及

★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖

目前的EDS设备检测极限多是0.1%，波谱可以到0.01%。检测的深度与参数有关，X射线的出射是一个体积效应，也就是说，即使你EDS采集的是一个点，实际上采集到的信号也是围绕这个点的一定体积范围内发射出来的。如果电压是20KV，材料为钢，可能出射范围在1~2微米，如果材料为Si，出射范围会更大，可能4微米也是可能的，具体数值记不清了，楼主可以查一查。电压升高，出射体积变大；束斑增加，出射体积变大；材料平均原子序数越高出射体积越小。如果是很小的颗粒，最终的结果是包括了基体的效应的，不能真实反映小颗粒本身的成分。