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请问大家在石墨烯上长完氧化铝后,用什么方法将源漏区域的氧化铝腐蚀掉?
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haohaowind
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请问大家在石墨烯上长完氧化铝后,用什么方法将源漏区域的氧化铝腐蚀掉?
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请问大家在石墨烯上长完氧化铝后,用什么方法将源漏区域的氧化铝腐蚀掉?是用酸还是碱?一般用什么样的溶度?一般腐蚀时间多少可以完全去掉?对石墨烯有影响吗?
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1楼
2013-01-14 09:49:49
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haohaowind
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8楼
:
Originally posted by
marcmeng
at 2013-04-21 17:11:10
这个我觉得你要效果好的话,一定要先做电极,后做氧化铝,否则你想后续方法除去氧化铝,要么除不干净,使电极质量很低,要么把石墨烯给破坏掉了,比如上面说的用plasma
是先做电极后长氧化铝的,只是担心刻蚀对石墨烯有影响
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9楼
2013-04-22 09:39:26
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在石墨烯上长氧化铝?
这样的话,石墨烯不会被烧掉吗?
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2楼
2013-01-14 13:03:12
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2楼
:
Originally posted by
wu1008
at 2013-01-14 13:03:12
在石墨烯上长氧化铝?
这样的话,石墨烯不会被烧掉吗?
不会烧掉的
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3楼
2013-01-14 16:31:48
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3楼
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Originally posted by
haohaowind
at 2013-01-14 16:31:48
不会烧掉的...
石墨烯能耐那么高温吗?
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4楼
2013-01-14 17:13:00
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