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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 学术讨论 » 请问大家在石墨烯上长完氧化铝后，用什么方法将源漏区域的氧化铝腐蚀掉？
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haohaowind

木虫 (小有名气)

[求助] 请问大家在石墨烯上长完氧化铝后，用什么方法将源漏区域的氧化铝腐蚀掉？ 已有1人参与

请问大家在石墨烯上长完氧化铝后，用什么方法将源漏区域的氧化铝腐蚀掉？是用酸还是碱？一般用什么样的溶度？一般腐蚀时间多少可以完全去掉？对石墨烯有影响吗？
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1楼 2013-01-14 09:49:49
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wu1008

金虫 (著名写手)
在石墨烯上长氧化铝？
这样的话，石墨烯不会被烧掉吗？
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2楼2013-01-14 13:03:12
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haohaowind

木虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by wu1008 at 2013-01-14 13:03:12
在石墨烯上长氧化铝？
这样的话，石墨烯不会被烧掉吗？

不会烧掉的
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3楼2013-01-14 16:31:48
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wu1008

金虫 (著名写手)
引用回帖:
3楼: Originally posted by haohaowind at 2013-01-14 16:31:48
不会烧掉的...

石墨烯能耐那么高温吗？
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4楼2013-01-14 17:13:00
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longyinfen

禁虫 (正式写手)
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本帖内容被屏蔽
5楼2013-01-15 00:12:11
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haohaowind

木虫 (小有名气)
引用回帖:
5楼: Originally posted by longyinfen at 2013-01-15 00:12:11
Al2O3应该很薄的吧？如果很薄的话可以先干法RIE  Ar plasma 打一下，几十秒，然后HF 蘸几十秒。

Ar plasma 不会对石墨烯造成破坏吗？
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6楼2013-01-15 08:22:34
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匆匆游

铁虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

Al2O3可以用湿法腐蚀掉
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7楼2013-01-17 17:44:40
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marcmeng

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

这个我觉得你要效果好的话，一定要先做电极，后做氧化铝，否则你想后续方法除去氧化铝，要么除不干净，使电极质量很低，要么把石墨烯给破坏掉了，比如上面说的用plasma
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什么也么有
8楼2013-04-21 17:11:10
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haohaowind

木虫 (小有名气)
引用回帖:
8楼: Originally posted by marcmeng at 2013-04-21 17:11:10
这个我觉得你要效果好的话，一定要先做电极，后做氧化铝，否则你想后续方法除去氧化铝，要么除不干净，使电极质量很低，要么把石墨烯给破坏掉了，比如上面说的用plasma

是先做电极后长氧化铝的，只是担心刻蚀对石墨烯有影响
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9楼2013-04-22 09:39:26
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雾化雨123

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

引用回帖:
9楼: Originally posted by haohaowind at 2013-04-22 09:39:26
是先做电极后长氧化铝的，只是担心刻蚀对石墨烯有影响...

我不知道NaOH可不可以，但是我查的有的地方说可以，有的地方说不行。。。
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没事来逛逛~
10楼2013-06-21 09:21:48
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