应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 学术讨论 » 请问大家在石墨烯上长完氧化铝后，用什么方法将源漏区域的氧化铝腐蚀掉？
151/2返回列表12下一页
查看: 1772  |  回复: 14
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

haohaowind

木虫 (小有名气)

[求助] 请问大家在石墨烯上长完氧化铝后，用什么方法将源漏区域的氧化铝腐蚀掉？ 已有1人参与

请问大家在石墨烯上长完氧化铝后，用什么方法将源漏区域的氧化铝腐蚀掉？是用酸还是碱？一般用什么样的溶度？一般腐蚀时间多少可以完全去掉？对石墨烯有影响吗？
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关商家推荐: (我也要在这里推广)

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
1楼 2013-01-14 09:49:49
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

wu1008

金虫 (著名写手)
在石墨烯上长氧化铝？
这样的话，石墨烯不会被烧掉吗？
赞一下 回复此楼
2楼2013-01-14 13:03:12
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

haohaowind

木虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by wu1008 at 2013-01-14 13:03:12
在石墨烯上长氧化铝？
这样的话，石墨烯不会被烧掉吗？

不会烧掉的
回复此楼
3楼2013-01-14 16:31:48
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

wu1008

金虫 (著名写手)
引用回帖:
3楼: Originally posted by haohaowind at 2013-01-14 16:31:48
不会烧掉的...

石墨烯能耐那么高温吗？
赞一下 回复此楼
4楼2013-01-14 17:13:00
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

longyinfen

禁虫 (正式写手)
感谢参与，应助指数 +1
本帖内容被屏蔽
5楼2013-01-15 00:12:11
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

haohaowind

木虫 (小有名气)
引用回帖:
5楼: Originally posted by longyinfen at 2013-01-15 00:12:11
Al2O3应该很薄的吧？如果很薄的话可以先干法RIE  Ar plasma 打一下，几十秒，然后HF 蘸几十秒。

Ar plasma 不会对石墨烯造成破坏吗？
赞一下 回复此楼
6楼2013-01-15 08:22:34
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

匆匆游

铁虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

Al2O3可以用湿法腐蚀掉
赞一下 回复此楼
7楼2013-01-17 17:44:40
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

marcmeng

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

这个我觉得你要效果好的话，一定要先做电极，后做氧化铝，否则你想后续方法除去氧化铝，要么除不干净，使电极质量很低，要么把石墨烯给破坏掉了，比如上面说的用plasma
赞一下 回复此楼
什么也么有
8楼2013-04-21 17:11:10
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

haohaowind

木虫 (小有名气)
引用回帖:
8楼: Originally posted by marcmeng at 2013-04-21 17:11:10
这个我觉得你要效果好的话，一定要先做电极，后做氧化铝，否则你想后续方法除去氧化铝，要么除不干净，使电极质量很低，要么把石墨烯给破坏掉了，比如上面说的用plasma

是先做电极后长氧化铝的，只是担心刻蚀对石墨烯有影响
赞一下 回复此楼
9楼2013-04-22 09:39:26
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

雾化雨123

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

引用回帖:
9楼: Originally posted by haohaowind at 2013-04-22 09:39:26
是先做电极后长氧化铝的，只是担心刻蚀对石墨烯有影响...

我不知道NaOH可不可以，但是我查的有的地方说可以，有的地方说不行。。。
赞一下 回复此楼
没事来逛逛~
10楼2013-06-21 09:21:48
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 haohaowind 的主题更新
151/2返回列表12下一页
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 一志愿天津大学化学工艺专业（081702）315分求调剂 +7 yangfz 2026-03-17 7/350 2026-03-17 23:57 by 星空星月
[考研] 085601专硕，总分342求调剂，地区不限 +4 share_joy 2026-03-16 4/200 2026-03-17 21:32 by hmn_wj
[考研] 299求调剂 +4 △小透明* 2026-03-17 4/200 2026-03-17 20:09 by peike
[考研] 341求调剂 +5 捣蛋猪猪 2026-03-11 7/350 2026-03-17 19:09 by 捣蛋猪猪
[考研] 085600材料与化工 +4 安全上岸！ 2026-03-16 4/200 2026-03-17 14:02 by 勇敢太监王公公
[论文投稿] 有没有大佬发小论文能带我个二作 +3 增锐漏人 2026-03-17 4/200 2026-03-17 09:26 by xs74101122
[考研] 283求调剂 +3 听风就是雨； 2026-03-16 3/150 2026-03-17 07:41 by 热情沙漠
[考研] [导师推荐]西南科技大学国防/材料导师推荐 +3 尖角小荷 2026-03-16 6/300 2026-03-16 23:21 by 尖角小荷
[考研] 286求调剂 +3 lemonzzn 2026-03-16 5/250 2026-03-16 20:43 by lemonzzn
[考研] 285求调剂 +6 ytter 2026-03-12 6/300 2026-03-16 15:05 by njzyff
[考研] 277材料科学与工程080500求调剂 +3 自由煎饼果子 2026-03-16 3/150 2026-03-16 14:10 by 运气yunqi
[考研] 0703化学调剂 290分有科研经历，论文在投 +7 腻腻gk 2026-03-14 7/350 2026-03-16 10:12 by houyaoxu
[考研] 070305求调剂 +3 mlpqaz03 2026-03-14 4/200 2026-03-15 11:04 by peike
[考研] 材料080500调剂求收留 +3 一颗meteor 2026-03-13 3/150 2026-03-14 10:54 by peike
[考研] 求调剂（材料与化工327） +4 爱吃香菜啦 2026-03-11 4/200 2026-03-13 22:11 by JourneyLucky
[考研] 290求调剂 +9 ADT 2026-03-11 9/450 2026-03-13 21:55 by JourneyLucky
[考研] 311求调剂 +3 冬十三 2026-03-13 3/150 2026-03-13 20:41 by JourneyLucky
[考研] 0703化学求调剂 +7 绿豆芹菜汤 2026-03-12 7/350 2026-03-13 17:25 by njzyff
[考研] 290求调剂 +3 ADT 2026-03-13 3/150 2026-03-13 10:19 by peike
[考研] 化工学硕306求调剂 +9 42838695 2026-03-12 9/450 2026-03-13 10:16 by houyaoxu
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭