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haohaowind

木虫 (小有名气)

[求助] 请问大家在石墨烯上长完氧化铝后,用什么方法将源漏区域的氧化铝腐蚀掉? 已有1人参与

请问大家在石墨烯上长完氧化铝后,用什么方法将源漏区域的氧化铝腐蚀掉?是用酸还是碱?一般用什么样的溶度?一般腐蚀时间多少可以完全去掉?对石墨烯有影响吗?
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wu1008

金虫 (著名写手)

在石墨烯上长氧化铝?
这样的话,石墨烯不会被烧掉吗?
2楼2013-01-14 13:03:12
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haohaowind

木虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by wu1008 at 2013-01-14 13:03:12
在石墨烯上长氧化铝?
这样的话,石墨烯不会被烧掉吗?

不会烧掉的
3楼2013-01-14 16:31:48
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wu1008

金虫 (著名写手)

引用回帖:
3楼: Originally posted by haohaowind at 2013-01-14 16:31:48
不会烧掉的...

石墨烯能耐那么高温吗?
4楼2013-01-14 17:13:00
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longyinfen

禁虫 (正式写手)

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5楼2013-01-15 00:12:11
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haohaowind

木虫 (小有名气)

引用回帖:
5楼: Originally posted by longyinfen at 2013-01-15 00:12:11
Al2O3应该很薄的吧?如果很薄的话可以先干法RIE  Ar plasma 打一下,几十秒,然后HF 蘸几十秒。

Ar plasma 不会对石墨烯造成破坏吗?
6楼2013-01-15 08:22:34
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匆匆游

铁虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

Al2O3可以用湿法腐蚀掉
7楼2013-01-17 17:44:40
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marcmeng

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

这个我觉得你要效果好的话,一定要先做电极,后做氧化铝,否则你想后续方法除去氧化铝,要么除不干净,使电极质量很低,要么把石墨烯给破坏掉了,比如上面说的用plasma
什么也么有
8楼2013-04-21 17:11:10
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haohaowind

木虫 (小有名气)

引用回帖:
8楼: Originally posted by marcmeng at 2013-04-21 17:11:10
这个我觉得你要效果好的话,一定要先做电极,后做氧化铝,否则你想后续方法除去氧化铝,要么除不干净,使电极质量很低,要么把石墨烯给破坏掉了,比如上面说的用plasma

是先做电极后长氧化铝的,只是担心刻蚀对石墨烯有影响
9楼2013-04-22 09:39:26
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雾化雨123

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

引用回帖:
9楼: Originally posted by haohaowind at 2013-04-22 09:39:26
是先做电极后长氧化铝的,只是担心刻蚀对石墨烯有影响...

我不知道NaOH可不可以,但是我查的有的地方说可以,有的地方说不行。。。
没事来逛逛~
10楼2013-06-21 09:21:48
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