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关于等离子CVD合成类金刚石薄膜所用碳源和密度的关系
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利用等离子CVD合成类金刚石薄膜的密度和所用碳源，原料气体，比如甲烷，乙烯，乙炔，苯等，之间有什么关系？ 目前我只是用苯，真空状态氩气作为输送气体合成类金刚石薄膜，老板说用苯能合成出来高密度膜，而用其他则不容易？不知道为什么？ 苯环中碳元素全部是SP2杂化轨道构成的，在形成等离子解离后，很容易形成SP3杂化状态吗？为什么，不然的话何以沉积出来高密度薄膜啊？*（这里的高密度指的是密度在2以上） |
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