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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 无机非金属 » 碳素材料 » 关于等离子CVD合成类金刚石薄膜所用碳源和密度的关系
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周小龙

木虫 (正式写手)

[交流] 关于等离子CVD合成类金刚石薄膜所用碳源和密度的关系

利用等离子CVD合成类金刚石薄膜的密度和所用碳源，原料气体，比如甲烷，乙烯，乙炔，苯等，之间有什么关系？
目前我只是用苯，真空状态氩气作为输送气体合成类金刚石薄膜，老板说用苯能合成出来高密度膜，而用其他则不容易？不知道为什么？
苯环中碳元素全部是SP2杂化轨道构成的，在形成等离子解离后，很容易形成SP3杂化状态吗？为什么，不然的话何以沉积出来高密度薄膜啊？*（这里的高密度指的是密度在2以上）
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1楼2013-01-07 16:26:50
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乾坤智林

木虫 (著名写手)
★
周小龙(金币+1): 谢谢参与
>:-<

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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44楼2013-01-08 21:27:45
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