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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 无机非金属 » 碳素材料 » 关于等离子CVD合成类金刚石薄膜所用碳源和密度的关系
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周小龙

木虫 (正式写手)

[交流] 关于等离子CVD合成类金刚石薄膜所用碳源和密度的关系

利用等离子CVD合成类金刚石薄膜的密度和所用碳源，原料气体，比如甲烷，乙烯，乙炔，苯等，之间有什么关系？
目前我只是用苯，真空状态氩气作为输送气体合成类金刚石薄膜，老板说用苯能合成出来高密度膜，而用其他则不容易？不知道为什么？
苯环中碳元素全部是SP2杂化轨道构成的，在形成等离子解离后，很容易形成SP3杂化状态吗？为什么，不然的话何以沉积出来高密度薄膜啊？*（这里的高密度指的是密度在2以上）
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1楼2013-01-07 16:26:50
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userhung

禁虫 (文学泰斗)
★
周小龙(金币+1): 谢谢参与
http://cpfd.cnki.com.cn/Article/CPFDTOTAL-ZGCZ200411001553.htm
http://wenku.baidu.com/view/cbb6e503cc1755270722084a.html
http://wenku.baidu.com/view/db01068371fe910ef12df86e.html
http://www.doc88.com/p-690922088647.html
http://wenku.baidu.com/view/7ac59448f7ec4afe04a1df03.html
http://mall.cnki.net/magazine/Article/JGSM200005000.htm
http://wuxizazhi.cnki.net/Search/GYWL199304009.html
http://www.cnki.com.cn/Article/CJFDTotal-KWYS200503022.htm
http://www.cnki.com.cn/Article/CJFDTotal-JXKX200704031.htm
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24楼2013-01-08 20:57:55
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