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[交流]
关于等离子CVD合成类金刚石薄膜所用碳源和密度的关系
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利用等离子CVD合成类金刚石薄膜的密度和所用碳源,原料气体,比如甲烷,乙烯,乙炔,苯等,之间有什么关系? 目前我只是用苯,真空状态氩气作为输送气体合成类金刚石薄膜,老板说用苯能合成出来高密度膜,而用其他则不容易?不知道为什么? 苯环中碳元素全部是SP2杂化轨道构成的,在形成等离子解离后,很容易形成SP3杂化状态吗?为什么,不然的话何以沉积出来高密度薄膜啊?*(这里的高密度指的是密度在2以上) |
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