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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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ouyangshu

新虫 (初入文坛)

[求助] 关于薄膜XRD去基材晶相影响的问题

硬质合金表面注入后,测了基材和注入后样品的小角掠射的XRD,请问可以把两者的XRD峰强数据做减法后,再用jade找注入后生成的晶相吗?
因为注入剂量不多,所以光看XRD不好比较,请问这样做可以吗?
求大神们帮忙··谢谢啦···这个是不是所谓的去除衬底的影响???
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nkcm

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖


感谢参与,应助指数 +1
蒋青松: 金币+1, 鼓励交流 2012-12-28 21:19:45
个人认为不行。XRD的峰强与X光的强度直接相关,你直接测基材是,我们认为与基材衍射的光强为1;由于X光在一般薄膜中的穿透深度为1-2微米,所以在你侧薄膜XRD时,X光接触基材时其强度已被薄膜层严重衰减,应该远小于1,所以我个人认为直接测量基材的XRD不能代表测量薄膜XRD时基材的影响,不能直接相减。另外,如果不考虑上面因素,那也得计算其强度的平方差,而不是直接求差
2楼2012-12-28 16:38:03
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ouyangshu

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by nkcm at 2012-12-28 16:38:03
个人认为不行。XRD的峰强与X光的强度直接相关,你直接测基材是,我们认为与基材衍射的光强为1;由于X光在一般薄膜中的穿透深度为1-2微米,所以在你侧薄膜XRD时,X光接触基材时其强度已被薄膜层严重衰减,应该远小于 ...

那请问要怎么弄呢!!我注入后的XRD和基材的XRD差别不明显啊!
我做的是2°的角,扫描范围是20到90度!注入层厚度大概在50到200nm
对于这样的情况,我若想体现出不同注入能量对注入层的影响,应该怎么弄这个XRD呢??

谢谢大侠了~~
3楼2012-12-28 17:50:02
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