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yangac_

至尊木虫 (著名写手)

[求助] Si衬底有关晶相的选择问题

虫虫们好,我想买无氧化层的Si衬底,p,n,i三种晶型的,可是那个晶相怎么选择?我是打算做异质结,晶相有什么要求吗?初学者,请高手虫虫指点,多谢赐教!!
上善若水任方圆
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liu2004m

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【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★
yangac_: 金币+4, 博学EPI+1, ★★★★★最佳答案 2012-11-25 17:52:51
晶向当然有一定的影响
文献中一般用的是(100)晶向的
至于具体的晶向就要依照你自己的要求来进行选择了
2楼2012-11-25 15:11:18
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yangac_

至尊木虫 (著名写手)

引用回帖:
2楼: Originally posted by liu2004m at 2012-11-25 15:11:18
晶向当然有一定的影响
文献中一般用的是(100)晶向的
至于具体的晶向就要依照你自己的要求来进行选择了

是的,我上次买的p型的也是(100)的。想问n型的,本征的也用(100)晶相吗?不懂啊。不过我们长的是非晶的
上善若水任方圆
3楼2012-11-25 17:54:38
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liu2004m

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【答案】应助回帖

★ ★
yangac_: 金币+2, ★★★★★最佳答案 2012-11-26 09:56:43
引用回帖:
3楼: Originally posted by yangac_ at 2012-11-25 17:54:38
是的,我上次买的p型的也是(100)的。想问n型的,本征的也用(100)晶相吗?不懂啊。不过我们长的是非晶的...

n型的,本征的也可以用(100)晶相
4楼2012-11-25 22:30:48
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delarzhang

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★
yangac_: 金币+4, ★★★★★最佳答案 2012-11-26 09:56:30
如果是要做外延生长当然是买(111)晶向的,没有老师指导你吗?
天道酬勤
5楼2012-11-26 07:10:12
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huihoudubo

铁虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

没有老师指导,都是我一个人捣鼓,可怜死了。我是用溅射仪长异质结,不知道晶向对其影响大不大?

[ 发自手机版 https://muchong.com/3g ]
让你难过的事情,总有一天,你一定会笑着说出来。
6楼2012-11-26 08:54:29
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