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mengbin木虫 (小有名气)
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磁控溅射 射频电源 不能起辉（谢谢）
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| 各位虫友：本人使用一台中国科仪（沈阳）的磁控溅射仪（JGP450型），以前利用射频溅射氧化物薄膜时均正常，可是前一段发生了一次磁控靶和设备之间短路的问题，现在短路修好了，可是射频溅射不能起辉，但直流溅射时一切均正常。现在搞不懂了，到底是哪出问题了。我们的射频电源是Comdel的，怀疑有问题邮寄到北京检测了，厂家说没问题，可现在就是不能工作。烦请各位虫友指点、解惑。 |
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金属材料论文润色/翻译怎么收费?
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21楼2018-01-25 17:10:27
2楼2012-11-08 23:27:58
oxky
金虫 (小有名气)
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3楼2012-11-09 16:38:21
aaron5235
木虫 (正式写手)
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- 专业: 金属材料表面科学与工程
4楼2012-11-09 18:40:18