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yangac_至尊木虫 (著名写手)
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[求助]
溅射仪工作气体氩气+？？？氢化
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| 我用溅射仪长Mn/SiC薄膜，工作气体是氩气，但是我想改变一下气体对其薄膜的结构，来氢化一下，看看是否起作用。看过文献上有用Ar+H2，Ar+CH4的，但是，不是用的溅射仪，配比也不知道多少，混合气体有什么要求吗？但是安全第一，这种混合气体不会爆炸吧？有人做过吗？感谢给点意见哦！！急急急…… |
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Ivan_ye
金虫 (正式写手)
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yangac_
至尊木虫 (著名写手)
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3楼2012-11-04 20:21:11