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小木虫论坛-学术科研互动平台» 网络生活区» 有奖问答 » 有奖问答完结子版 » 溅射仪工作气体氩气+？？？氢化
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yangac_

至尊木虫 (著名写手)

[求助] 溅射仪工作气体氩气+？？？氢化

我用溅射仪长Mn/SiC薄膜，工作气体是氩气，但是我想改变一下气体对其薄膜的结构，来氢化一下，看看是否起作用。看过文献上有用Ar+H2，Ar+CH4的，但是，不是用的溅射仪，配比也不知道多少，混合气体有什么要求吗？但是安全第一，这种混合气体不会爆炸吧？有人做过吗？感谢给点意见哦！！急急急……
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上善若水任方圆
1楼 2012-11-04 14:43:49
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Ivan_ye

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★
yangac_: 金币+6, 博学EPI+1, ★★★★★最佳答案 2012-11-04 20:21:19
氩气和氢气、甲烷单独混合没有问题，至于氢气和甲烷的比例是用来控制薄膜中氢的含量的，跟是否会引起爆炸没有关系。关键在于溅射之前的抽真空，一定要高真空度而且保证溅射仪的气密性绝对好，整个真空体系中不能引入氧，学过化学的人应该都知道高浓度的氩气和甲烷在有氧气存在的情况下会产生什么严重的后果。建议LZ不要随便尝试这种易燃易爆气体的反应溅射，我们以前用氧气做反应溅射都是战战兢兢，三思而后行。
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2楼2012-11-04 15:52:59
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yangac_

至尊木虫 (著名写手)
引用回帖:
2脗楼: Originally posted by Ivan_ye at 2012-11-04 15:52:59
毛虏脝酶潞脥脟芒脝酶隆垄录脳脥茅碌楼露脌禄矛潞脧脙禄脫脨脦脢脤芒拢卢脰脕脫脷脟芒脝酶潞脥录脳脥茅碌脛卤脠脌媒脢脟脫脙脌麓驴脴脰脝卤隆脛陇脰脨脟芒碌脛潞卢脕驴碌脛拢卢赂煤脢脟路帽禄谩脪媒脝冒卤卢脮篓脙禄脫脨鹿脴脧碌隆拢鹿脴录眉脭脷脫脷陆娄脡盲脰庐脟掳碌脛鲁茅脮忙驴脮拢卢脪禄露篓脪陋赂脽脮忙驴脮露脠露酶脟脪卤拢脰陇陆娄脡盲脪脟碌脛脝酶脙脺脨脭戮酶露脭潞脙拢卢脮没赂枚脮忙驴脮脤氓脧碌脰脨虏禄脛脺脪媒脠毛 ...

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上善若水任方圆
3楼2012-11-04 20:21:11
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