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Ivan_ye

金虫 (正式写手)

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专业: 聚合物共混与复合材料

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★
yangac_: 金币+6, 博学EPI+1, ★★★★★最佳答案 2012-11-04 20:21:19

氩气和氢气、甲烷单独混合没有问题，至于氢气和甲烷的比例是用来控制薄膜中氢的含量的，跟是否会引起爆炸没有关系。关键在于溅射之前的抽真空，一定要高真空度而且保证溅射仪的气密性绝对好，整个真空体系中不能引入氧，学过化学的人应该都知道高浓度的氩气和甲烷在有氧气存在的情况下会产生什么严重的后果。建议LZ不要随便尝试这种易燃易爆气体的反应溅射，我们以前用氧气做反应溅射都是战战兢兢，三思而后行。

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回复此楼

2楼2012-11-04 15:52:59

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