|
|
[求助]
溅射仪工作气体氩气+？？？氢化
|
我用溅射仪长Mn/SiC薄膜，工作气体是氩气，但是我想改变一下气体对其薄膜的结构，来氢化一下，看看是否起作用。看过文献上有用Ar+H2，Ar+CH4的，但是，不是用的溅射仪，配比也不知道多少，混合气体有什么要求吗？但是安全第一，这种混合气体不会爆炸吧？有人做过吗？感谢给点意见哦！！急急急…… |
» 猜你喜欢
售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可+急
已经有10人回复
-
售SCI文章，我:8O5.5.1.O.54,科目齐全,可+急
已经有14人回复
-
售SCI一区文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可伽急
已经有12人回复
-
售一区SCI文章T0P，我:8O.551.O54,科目全,可十急
已经有5人回复
-
售SCI一区T0P文章，我:8.O55.1.O.54,科目全,可十急
已经有8人回复
-
售SCI一区T0P文章，我:8O.55.1.O.54,科目全,可伽急
已经有9人回复
-
售SCI-T0P文章，我:8O.5.5.1.O.54,科目齐全,可+急
已经有4人回复
-
售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.5.4,科目全,可+急
已经有6人回复
-
售SCI一区T0P文章，我:8O.55.1.O.5.4,科目齐全,可+急
已经有7人回复
-
售SCI一区T0P文章，我:8O.55.1.O.54,科目全,可伽急
已经有9人回复
|
回复此楼
