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在硅片涂膜,测TEM时想测断面,怎么制备样品?
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| 我是在硅片上旋涂膜,在测试TEM是想测断面,请问有没有好的制样方法/?复合薄膜时,想看不同物质的厚度有没有更好的方法? |
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2楼2012-10-23 08:12:38
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Ivan_ye
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