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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 在硅片涂膜，测TEM时想测断面，怎么制备样品？
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苦咖啡酸苹果

金虫 (小有名气)

笨笨

[求助] 在硅片涂膜，测TEM时想测断面，怎么制备样品？

我是在硅片上旋涂膜，在测试TEM是想测断面，请问有没有好的制样方法/?复合薄膜时，想看不同物质的厚度有没有更好的方法？
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1楼 2012-10-22 17:46:32
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冰的余

木虫 (著名写手)

小硕

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
chemlh: 金币+1, 欢迎积极交流 2012-10-24 08:20:20
苦咖啡酸苹果: 金币+5 2012-10-24 09:40:48
我们这边有用液氮来脆断的，好像效果还不错~
赞一下 回复此楼
坚持就是胜利，怒吼吧，青春~
3楼2012-10-23 08:20:50
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查看全部 22 个回答

蒋青松

荣誉版主 (著名写手)

优秀版主优秀版主优秀版主

【答案】应助回帖

★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
chemlh: 金币+1, 欢迎积极交流 2012-10-24 08:20:33
苦咖啡酸苹果: 金币+2 2012-10-24 09:38:58
我们都是直接把硅片掰断，看界面，效果一般。
期待高人出现····
赞一下 回复此楼
2楼2012-10-23 08:12:38
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feng毛毛

银虫 (小有名气)
引用回帖:
3楼: Originally posted by 冰的余 at 2012-10-23 08:20:50
我们这边有用液氮来脆断的，好像效果还不错~

液氮脆断怎么操作啊？谢谢
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努力就会有收获
4楼2012-10-23 16:43:38
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zzjdl

铜虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
蒋青松: 金币+1, 鼓励交流,这个方法不错 2012-10-24 07:57:53
苦咖啡酸苹果: 金币+5 2012-10-24 09:44:23
将几块硅片粘到一起，然后横向切片，然后粘铜环或其它支撑物，然后按常规块状样品制样就可以了。这类样品一般都是这么操作了，当然，如果你有FIB可以直接切的话就更方便了
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5楼2012-10-23 17:25:16
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