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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 在硅片涂膜，测TEM时想测断面，怎么制备样品？
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苦咖啡酸苹果

金虫 (小有名气)

笨笨

[求助] 在硅片涂膜，测TEM时想测断面，怎么制备样品？

我是在硅片上旋涂膜，在测试TEM是想测断面，请问有没有好的制样方法/?复合薄膜时，想看不同物质的厚度有没有更好的方法？
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1楼 2012-10-22 17:46:32
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蒋青松

荣誉版主 (著名写手)

优秀版主优秀版主优秀版主

【答案】应助回帖

★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
chemlh: 金币+1, 欢迎积极交流 2012-10-24 08:20:33
苦咖啡酸苹果: 金币+2 2012-10-24 09:38:58
我们都是直接把硅片掰断，看界面，效果一般。
期待高人出现····
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2楼2012-10-23 08:12:38
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冰的余

木虫 (著名写手)

小硕

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
chemlh: 金币+1, 欢迎积极交流 2012-10-24 08:20:20
苦咖啡酸苹果: 金币+5 2012-10-24 09:40:48
我们这边有用液氮来脆断的，好像效果还不错~
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坚持就是胜利，怒吼吧，青春~
3楼2012-10-23 08:20:50
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feng毛毛

银虫 (小有名气)
引用回帖:
3楼: Originally posted by 冰的余 at 2012-10-23 08:20:50
我们这边有用液氮来脆断的，好像效果还不错~

液氮脆断怎么操作啊？谢谢
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努力就会有收获
4楼2012-10-23 16:43:38
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zzjdl

铜虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
蒋青松: 金币+1, 鼓励交流,这个方法不错 2012-10-24 07:57:53
苦咖啡酸苹果: 金币+5 2012-10-24 09:44:23
将几块硅片粘到一起，然后横向切片，然后粘铜环或其它支撑物，然后按常规块状样品制样就可以了。这类样品一般都是这么操作了，当然，如果你有FIB可以直接切的话就更方便了
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5楼2012-10-23 17:25:16
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冰的余

木虫 (著名写手)

小硕
引用回帖:
4楼: Originally posted by feng毛毛 at 2012-10-23 16:43:38
液氮脆断怎么操作啊？谢谢...

这个，我还真是不知道~~都是别人操作的，我们只是送样过去就行了~
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坚持就是胜利，怒吼吧，青春~
6楼2012-10-23 17:32:12
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Ivan_ye

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
chemlh: 金币+1, 欢迎积极交流 2012-10-24 08:21:04
苦咖啡酸苹果: 金币+5 2012-10-24 09:44:13
先用环氧树脂包埋，然后用生物切片机切片。来源于文献，未实际尝试过，LZ好运
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7楼2012-10-23 18:14:31
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苦咖啡酸苹果

金虫 (小有名气)

笨笨
引用回帖:
2楼: Originally posted by 蒋青松 at 2012-10-23 08:12:38
我们都是直接把硅片掰断，看界面，效果一般。
期待高人出现····

你这个方法是测扫描电镜吧？
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8楼2012-10-24 09:38:52
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苦咖啡酸苹果

金虫 (小有名气)

笨笨
引用回帖:
3楼: Originally posted by 冰的余 at 2012-10-23 08:20:50
我们这边有用液氮来脆断的，好像效果还不错~

我们这侧样时是把样品放在铜网上，请问你们脆断后的样品能放在铜网上吗，价钱如何啊？
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9楼2012-10-24 09:40:37
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苦咖啡酸苹果

金虫 (小有名气)

笨笨
引用回帖:
5楼: Originally posted by zzjdl at 2012-10-23 17:25:16
将几块硅片粘到一起，然后横向切片，然后粘铜环或其它支撑物，然后按常规块状样品制样就可以了。这类样品一般都是这么操作了，当然，如果你有FIB可以直接切的话就更方便了

请问FIB是？这个方法你自己用过？有更详细的步骤吗？
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10楼2012-10-24 09:45:45
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