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在硅片涂膜，测TEM时想测断面，怎么制备样品？
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| 我是在硅片上旋涂膜，在测试TEM是想测断面，请问有没有好的制样方法/?复合薄膜时，想看不同物质的厚度有没有更好的方法？ |
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