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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 在硅片涂膜，测TEM时想测断面，怎么制备样品？
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蒋青松

荣誉版主 (著名写手)

优秀版主优秀版主优秀版主
引用回帖:
8楼: Originally posted by 苦咖啡酸苹果 at 2012-10-24 09:38:52
你这个方法是测扫描电镜吧？...


是的，竟然你需要的TEM，我搞错了，不好意思！
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11楼2012-10-24 10:34:10
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zzjdl

铜虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★
苦咖啡酸苹果: 金币+2 2012-10-27 08:36:31
chemlh: 金币+1, 欢迎积极交流 2012-10-27 09:29:08
引用回帖:
10楼: Originally posted by 苦咖啡酸苹果 at 2012-10-24 09:45:45
请问FIB是？这个方法你自己用过？有更详细的步骤吗？...

FIB是聚焦离子束，可以切割样品中你感兴趣的区域，是块状透射样品制备的利器，但有这设备的单位不多（这两年好像多起来了），而且一般不愿意对外开放，所以。。。至于，多片粘贴切片的方法则是很常用的方法，虽然麻烦了点，但做出来的效果也挺好的
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12楼2012-10-24 10:37:10
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冰的余

木虫 (著名写手)

小硕
引用回帖:
9楼: Originally posted by 苦咖啡酸苹果 at 2012-10-24 09:40:37
我们这侧样时是把样品放在铜网上，请问你们脆断后的样品能放在铜网上吗，价钱如何啊？...

我们这边是在铜网上，一个样150吧~
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坚持就是胜利，怒吼吧，青春~
13楼2012-10-24 14:27:59
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feng毛毛

银虫 (小有名气)
引用回帖:
6楼: Originally posted by 冰的余 at 2012-10-23 17:32:12
这个，我还真是不知道~~都是别人操作的，我们只是送样过去就行了~...

下次再测试的时候可以学着点么，哈哈
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努力就会有收获
14楼2012-10-26 08:48:35
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苦咖啡酸苹果

金虫 (小有名气)

笨笨
引用回帖:
12楼: Originally posted by zzjdl at 2012-10-24 10:37:10
FIB是聚焦离子束，可以切割样品中你感兴趣的区域，是块状透射样品制备的利器，但有这设备的单位不多（这两年好像多起来了），而且一般不愿意对外开放，所以。。。至于，多片粘贴切片的方法则是很常用的方法，虽然麻 ...

多片粘贴的方法，是把多片粘贴在一起然后用砂纸磨，然后再上机器上磨吗？
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15楼2012-10-27 08:36:25
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苦咖啡酸苹果

金虫 (小有名气)

笨笨
引用回帖:
11楼: Originally posted by 蒋青松 at 2012-10-24 10:34:10

是的，竟然你需要的TEM，我搞错了，不好意思！...

呵呵 ，没关系，那你有没有TEM比较好的制样方法啊？
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16楼2012-10-27 08:37:04
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蒋青松

荣誉版主 (著名写手)

优秀版主优秀版主优秀版主
引用回帖:
16楼: Originally posted by 苦咖啡酸苹果 at 2012-10-27 08:37:04
呵呵 ，没关系，那你有没有TEM比较好的制样方法啊？...

那就没有了！TEM我们用的少。
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17楼2012-10-27 09:05:21
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zzjdl

铜虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★
苦咖啡酸苹果: 金币+1 2012-11-01 14:27:07
引用回帖:
15楼: Originally posted by 苦咖啡酸苹果 at 2012-10-27 08:36:25
多片粘贴的方法，是把多片粘贴在一起然后用砂纸磨，然后再上机器上磨吗？...

恩。把多片（如果基板够厚的话，两片对粘也可以）粘在一起，然后横向磨，在上离子减薄，当然减薄时要保证减到粘结界面处，这样就能使薄膜与基体的界面处于薄区位置
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18楼2012-10-31 08:54:54
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苦咖啡酸苹果

金虫 (小有名气)

笨笨
引用回帖:
18楼: Originally posted by zzjdl at 2012-10-31 08:54:54
恩。把多片（如果基板够厚的话，两片对粘也可以）粘在一起，然后横向磨，在上离子减薄，当然减薄时要保证减到粘结界面处，这样就能使薄膜与基体的界面处于薄区位置...

我用砂纸磨过，但是到一定厚度时就片子就成渣了，也没法上机器啊
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19楼2012-11-01 14:28:08
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zzjdl

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
19楼: Originally posted by 苦咖啡酸苹果 at 2012-11-01 14:28:08
我用砂纸磨过，但是到一定厚度时就片子就成渣了，也没法上机器啊...

你的基板是什么材料？粘了几片，有多厚？粘结的肯定是没有块体好磨的，要逐渐换细号砂纸磨。粘结胶的好坏，粘结牢固如否也很关键。
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20楼2012-11-16 16:00:34
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