| 查看: 1409 | 回复: 5 | |||
moonwy金虫 (初入文坛)
|
[交流]
[求助]PECVD 溅射SiN 已有3人参与
|
| 在硅片上刻蚀5um间隔，30um深的栅线后，再用PECVD溅射一层SiN，不知道SiN的均匀性和绝缘性咋样？栅线的棱角处能溅射上SiN吗？ 请高手指点下，谢谢。 |
回复此楼» 猜你喜欢
求助一篇MEMS散热器件文献
已经有0人回复
-
材化专业SCI论文（职称评定）
已经有0人回复
-
金属材料论文润色/翻译怎么收费?
已经有121人回复
-
材料化学专业SCI论文（职称评定）
已经有0人回复
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- 求助关于用PECVD在硅片上生长SiO2的掩膜材料
已经有8人回复
bazhuayuyu
木虫 (著名写手)
- 应助: 57 (初中生)
- 金币: 2142.7
- 散金: 10
- 红花: 19
- 帖子: 1091
- 在线: 272.6小时
- 虫号: 419337
- 注册: 2007-07-05
- 专业: 无机非金属类光电信息与功
2楼2012-10-19 11:02:40
moonwy
金虫 (初入文坛)
- 应助: 2 (幼儿园)
- 金币: 1335.2
- 帖子: 46
- 在线: 79.8小时
- 虫号: 1937299
- 注册: 2012-08-13
- 性别: GG
- 专业: 微/纳机械系统
3楼2012-10-19 19:16:32
yswyx 
专家顾问 (著名写手)
-
专家经验: +651 - MN-EPI: 8
- 应助: 807 (博后)
- 贵宾: 0.204
- 金币: 2618.9
- 散金: 6018
- 红花: 112
- 帖子: 2705
- 在线: 577.8小时
- 虫号: 446878
- 注册: 2007-10-30
- 性别: GG
- 专业: 半导体微纳机电器件与系统
- 管辖: 微米和纳米
4楼2012-10-20 09:50:40
moonwy
金虫 (初入文坛)
- 应助: 2 (幼儿园)
- 金币: 1335.2
- 帖子: 46
- 在线: 79.8小时
- 虫号: 1937299
- 注册: 2012-08-13
- 性别: GG
- 专业: 微/纳机械系统
5楼2012-10-22 08:25:08
windyswust
木虫 (著名写手)
- 应助: 21 (小学生)
- 金币: 2516.8
- 散金: 577
- 红花: 10
- 帖子: 1083
- 在线: 1954.2小时
- 虫号: 919716
- 注册: 2009-12-03
- 性别: GG
- 专业: 等离子体物理
6楼2012-11-13 11:21:36
