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moonwy金虫 (初入文坛)
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[求助]PECVD 溅射SiN已有3人参与
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| 在硅片上刻蚀5um间隔，30um深的栅线后，再用PECVD溅射一层SiN，不知道SiN的均匀性和绝缘性咋样？栅线的棱角处能溅射上SiN吗？ 请高手指点下，谢谢。 |
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moonwy
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3楼2012-10-19 19:16:32
moonwy
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5楼2012-10-22 08:25:08