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真空涨落

木虫 (小有名气)


[交流] 离子注入后的印记

半导体硅的器件在离子注入硼后产生印记,退火后也不消失。但有时却没有印记。注入前后都腐蚀过二氧化硅。
请问印记是怎么产生的?

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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blackdogzmz

木虫 (职业作家)



真空涨落: 金币+1, 谢谢顶贴 2012-10-06 20:46:17
不会.... 顶一下让别人来答吧....
2楼2012-10-06 11:51:04
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highpy

木虫 (知名作家)


★ ★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
真空涨落: 金币+2, 谢谢回帖 2012-10-06 20:48:22
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4楼2012-10-06 16:14:38
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真空涨落

木虫 (小有名气)


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4?: Originally posted by highpy at 2012-10-06 16:14:38
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5楼2012-10-06 20:48:09
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highpy

木虫 (知名作家)



小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
我觀察到過二氧化硅注入之後也有印記的,
應該是材料光學性質發生了變化,
你是的這個染色作用可能性很小,
6楼2012-10-06 22:43:18
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简单回复
yxu19863楼
2012-10-06 12:30   回复  
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