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离子注入后的印记
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真空涨落
木虫
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虫号: 1628088
[交流]
离子注入后的印记
半导体硅的器件在离子注入硼后产生印记,退火后也不消失。但有时却没有印记。注入前后都腐蚀过二氧化硅。
请问印记是怎么产生的?
[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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2012-10-06 11:10:36
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blackdogzmz
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真空涨落: 金币+1, 谢谢顶贴
2012-10-06 20:46:17
不会.... 顶一下让别人来答吧....
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2楼
2012-10-06 11:51:04
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highpy
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★ ★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
真空涨落: 金币+2, 谢谢回帖
2012-10-06 20:48:22
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4楼
2012-10-06 16:14:38
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真空涨落
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4?
:
Originally posted by
highpy
at 2012-10-06 16:14:38
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5楼
2012-10-06 20:48:09
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highpy
木虫
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小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
我觀察到過二氧化硅注入之後也有印記的,
應該是材料光學性質發生了變化,
你是的這個染色作用可能性很小,
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6楼
2012-10-06 22:43:18
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yxu1986
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2012-10-06 12:30
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