| 查看: 9551 | 回复: 14 | |||||
| 当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖 | |||||
[求助]
EBL光刻胶
|
|||||
| 电子束刻蚀用的光刻胶除了PMMA还有那些啊，尤其灵敏度比PMMA高的 都有哪些啊，他们的灵敏度都为多少啊？大家谁知道，谢谢了~ |
回复此楼» 收录本帖的淘帖专辑推荐
 薄膜材料和器件表征 | 薄膜材料和器件制备 | 实验们 |
» 猜你喜欢
材料化学专业sci转让 qq 1946569001
已经有0人回复
-
材料化学专业sci转让 qq 1946569001
已经有0人回复
-
无机化学论文润色/翻译怎么收费?
已经有141人回复
9楼2012-09-22 09:00:16
lichi008
木虫 (小有名气)
- 应助: 5 (幼儿园)
- 金币: 1773.4
- 散金: 298
- 红花: 6
- 帖子: 215
- 在线: 127.2小时
- 虫号: 1785341
- 注册: 2012-04-28
- 性别: GG
- 专业: 无机非金属类光电信息与功
2楼2012-09-21 17:42:05
yswyx 
专家顾问 (著名写手)
-
专家经验: +651 - MN-EPI: 8
- 应助: 807 (博后)
- 贵宾: 0.204
- 金币: 2618.9
- 散金: 6018
- 红花: 112
- 帖子: 2705
- 在线: 577.8小时
- 虫号: 446878
- 注册: 2007-10-30
- 性别: GG
- 专业: 半导体微纳机电器件与系统
- 管辖: 微米和纳米
【答案】应助回帖
★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
郭凤杰: 金币+20, ★★★★★最佳答案 2012-09-22 10:26:45
感谢参与，应助指数 +1
郭凤杰: 金币+20, ★★★★★最佳答案 2012-09-22 10:26:45
|
UVIII是shipley很老的光刻胶了，是0.35~0.18um时代的光刻胶，本身分辨率很受限制，当年我用的时候从来没突破过0.2um，在我眼中是很烂的EBL光刻胶，因为它本身就是光学胶。 除了PMMA之外，主要的电子束光刻胶有以下几种： ZEP520：电子束正胶，做到50nm问题不大，抗刻蚀性能好，剂量高，工艺窗口较大。缺点是很难买，没有小包装。 SAL601：电子束负胶，分辨率很好，也是当年最喜欢用的胶，抗刻蚀性能好，剂量低，工艺窗口较小，工艺适应性好。缺点同样是很难买，没小包装。 HSQ：算是无机胶，分辨率极好，其他性能一般。也属于很难买的胶，有小包装。 不知道楼主说的灵敏度具体是指什么？感光的最小剂量？那么这几个都比PMMA好，SAL601最好。数据因为十多年了记不得了，你查查文献吧。 反正这些胶都是很贵，比光学胶的价格要贵几十倍。我这儿有渠道分装，大家不用买大瓶的，需要就联系我就是了。 |
» 本帖已获得的红花（最新10朵）
郭凤杰3楼2012-09-21 18:05:06
quanten
金虫 (著名写手)
QQ群(NW-FET): 157220400
- 应助: 34 (小学生)
- 金币: 1672.3
- 散金: 204
- 红花: 18
- 帖子: 1055
- 在线: 570.9小时
- 虫号: 478681
- 注册: 2007-12-14
- 性别: GG
- 专业: 半导体电子器件
4楼2012-09-21 18:34:08
40