应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 学术讨论 » EBL光刻胶
151/2返回列表12下一页
查看: 9273  |  回复: 14
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

郭凤杰

铜虫 (初入文坛)

[求助] EBL光刻胶

电子束刻蚀用的光刻胶除了PMMA还有那些啊，尤其灵敏度比PMMA高的 都有哪些啊，他们的灵敏度都为多少啊？大家谁知道，谢谢了~
回复此楼

» 收录本帖的淘帖专辑推荐

薄膜材料和器件表征 薄膜材料和器件制备 实验们

» 猜你喜欢
一
1楼 2012-09-21 09:23:51
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
郭凤杰: 金币+20, ★★★★★最佳答案 2012-09-22 10:26:45
UVIII是shipley很老的光刻胶了，是0.35~0.18um时代的光刻胶，本身分辨率很受限制，当年我用的时候从来没突破过0.2um，在我眼中是很烂的EBL光刻胶，因为它本身就是光学胶。

除了PMMA之外，主要的电子束光刻胶有以下几种：
ZEP520：电子束正胶，做到50nm问题不大，抗刻蚀性能好，剂量高，工艺窗口较大。缺点是很难买，没有小包装。
SAL601：电子束负胶，分辨率很好，也是当年最喜欢用的胶，抗刻蚀性能好，剂量低，工艺窗口较小，工艺适应性好。缺点同样是很难买，没小包装。
HSQ：算是无机胶，分辨率极好，其他性能一般。也属于很难买的胶，有小包装。

不知道楼主说的灵敏度具体是指什么？感光的最小剂量？那么这几个都比PMMA好，SAL601最好。数据因为十多年了记不得了，你查查文献吧。

反正这些胶都是很贵，比光学胶的价格要贵几十倍。我这儿有渠道分装，大家不用买大瓶的，需要就联系我就是了。
赞一下(1人) 回复此楼

» 本帖已获得的红花（最新10朵）

郭凤杰
3楼2012-09-21 18:05:06
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

quanten

金虫 (著名写手)

QQ群(NW-FET): 157220400

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
PMMA是很好的负胶，不用寻找更好的胶，即使有更好的胶，你的机器达不到精度也是枉然，具体要做dose test， 大结构和小结构用不同的dose，ZEP也可以尝试，HSQ是正胶，这三种胶做到50nm没有问题，如果做不到，就要做dose test，优化工艺
楼上比较在行，不过SAL胶好像精度比较低，做掩模板会用到，不知道我说的是不是准确，欢迎指正
赞一下(1人) 回复此楼
4楼2012-09-21 18:34:08
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
普通回帖

lichi008

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
UVIII 超级灵敏 比PMMA灵敏很多倍 具体灵敏度不太清楚 需要查询
赞一下 回复此楼
2楼2012-09-21 17:42:05
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

郭凤杰

铜虫 (初入文坛)
送鲜花一朵
引用回帖:
3楼: Originally posted by yswyx at 2012-09-21 18:05:06
UVIII是shipley很老的光刻胶了，是0.35~0.18um时代的光刻胶，本身分辨率很受限制，当年我用的时候从来没突破过0.2um，在我眼中是很烂的EBL光刻胶，因为它本身就是光学胶。

除了PMMA之外，主要的电子束光刻胶有以 ...

谢谢您的帮助，我说的灵敏度就是表明抗蚀剂对高能粒子作用反应的敏感程度，一般以微库每平方厘米为单位，数值越小灵敏度越高。应该就是你说的感光剂量。我具体就是想了解一下做电子束刻蚀除了PMMA，还可以用那些光刻胶（电子束抗蚀剂），他们的灵敏度与PMMA比较如何，重点是有哪些是比PMMA灵敏度数值大 （也就是灵敏度低（标题上描述可能有误），我想在相同的时间内减轻曝光的程度），如果选用后对电子束刻蚀工艺有什么影响，如果您对这方面比较了解的话谢谢指导了，非常感谢！~
赞一下 回复此楼
一
5楼2012-09-21 19:12:32
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

PMMA的灵敏度是最差的了，没见过比PMMA灵敏度还差的。具体数据是一点儿都不记得了，毕竟十多年了。其他我说的那几种都挺不错。

我不是很明白你说的相同时间内减轻曝光的程度。我想知道你所谓的相同时间是指电子束扫过硅片表面的时间？还是指片子整体加工的时间？减轻曝光程度是指曝光的剂量？

因为不知道你的基础是什么样的，所以有点儿不知道该怎么说，写帖子效率太低了，我先试试，如果还是感觉沟通不清楚，咱们可以QQ聊。

电子束光刻中参数设定中有影响的有以下几个
加速电压：比如50KV
电流密度：比如几个nA
束斑尺寸：一般几十纳米到几纳米，很难测量，一遍电流密度调的越小，束斑尺寸越小。
剂量：uC/cm2

一般我们做细线条，就是把电流调最小，束斑调最圆，然后设定个剂量，就搞定了。你所谓的减轻曝光的程度，是不是说，减少曝光的剂量？其他不变？如果这样的话，胶可能就曝不透，显影显不开，光学显微镜下，线条之间是黑的。

如果你说的是减小电子的加速电压，那么就意味着光刻胶中电子的前散射和背散射发生变化，散射斑变大，曝光出来的线条变粗。如果继续降低，最终背散射影响忽略不计，前散射变化不大，曝光出来的线条变细。

其实这些东西几十年前的论文就讲的挺清楚的了。有本书叫handbook of lithography，或者事handbook of microlithography，其中第二章我记得讲的是电子束光刻，几年前在google book上看到这章是free的。你可以上去翻翻，google的后缀把cn改成de之类的能快点儿全点儿。如果找不到，我记得科图和国图好像各有一本，可以复印。还有一本是principle of lithogprahy，也讲的挺透的。有这两本书，基本的光刻的理论就不差啥了。

你要是觉得有疑问就加我QQ，写帖子太累，老了
赞一下 回复此楼
6楼2012-09-21 20:21:57
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

如果你的目的是找一种胶，让曝光时间降下来，那么我举例的几种都可以（要看正负形）。
赞一下 回复此楼
7楼2012-09-21 20:23:36
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

引用回帖:
4楼: Originally posted by quanten at 2012-09-21 18:34:08
PMMA是很好的负胶，不用寻找更好的胶，即使有更好的胶，你的机器达不到精度也是枉然，具体要做dose test， 大结构和小结构用不同的dose，ZEP也可以尝试，HSQ是正胶，这三种胶做到50nm没有问题，如果做不到，就要做d ...

Dose Test的确很重要，要注意dose test的时效性。所以做电子束光刻的人很悲催，优化工艺万万年。

说点不同的，
PMMA不好，抗刻蚀性能差，做器件很烂。
大小结构用不同的dose，这是最简单的临近效应矫正方法，有没有效要看图形的尺寸和分布。如果无效的话，还是要用软件做图形矫正设定阶梯剂量做的。我碰到的情况有效的很少，可能因为当年做的大部分都是复杂的电路吧。
SAL胶精度差一点，但是好在它是负胶，曾经用它扣出30nm以下，而且大面积图形也非常完好。

whatever，有人一起讨论电子束的感觉真好
赞一下 回复此楼
8楼2012-09-21 20:34:01
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

郭凤杰

铜虫 (初入文坛)
引用回帖:
6楼: Originally posted by yswyx at 2012-09-21 20:21:57
PMMA的灵敏度是最差的了，没见过比PMMA灵敏度还差的。具体数据是一点儿都不记得了，毕竟十多年了。其他我说的那几种都挺不错。

我不是很明白你说的相同时间内减轻曝光的程度。我想知道你所谓的相同时间是指电子束 ...

谢谢啊，你QQ是多少啊，我是刚刚开始做电子束刻蚀不久，很多地方需要讨教，谢谢！~
赞一下 回复此楼
一
9楼2012-09-22 09:00:16
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yswyx

专家顾问 (著名写手)
引用回帖:
9楼: Originally posted by 郭凤杰 at 2012-09-22 09:00:16
谢谢啊，你QQ是多少啊，我是刚刚开始做电子束刻蚀不久，很多地方需要讨教，谢谢！~...

看我签名档
回复此楼
10楼2012-09-22 22:53:02
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 郭凤杰 的主题更新
151/2返回列表12下一页
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 材料专硕306英一数二 +4 z1z2z3879 2026-03-16 6/300 2026-03-16 19:38 by z1z2z3879
[考研] 304求调剂 +4 ahbd 2026-03-14 4/200 2026-03-16 16:48 by 我的船我的海
[考研] 本人考085602 化学工程 专硕 +12 不知道叫什么！ 2026-03-15 14/700 2026-03-16 16:45 by 我的船我的海
[考研] 材料与化工专硕调剂 +3 heming3743 2026-03-16 3/150 2026-03-16 15:05 by peike
[考研] 308求调剂 +3 是Lupa啊 2026-03-16 3/150 2026-03-16 10:07 by 求调剂zz
[考研] 327求调剂 +6 拾光任染 2026-03-15 11/550 2026-03-15 22:47 by 拾光任染
[考博] 欢迎申博同学联系 +3 天道酬勤2026686 2026-03-10 7/350 2026-03-15 19:03 by 天道酬勤2026686
[考研] 274求调剂 +4 时间点 2026-03-13 4/200 2026-03-15 15:29 by Rambo13
[考研] 招收0805（材料）调剂 +3 18595523086 2026-03-13 3/150 2026-03-14 00:33 by 123%、
[考研] 318求调剂 +3 李新光 2026-03-10 3/150 2026-03-14 00:21 by JourneyLucky
[考研] 337一志愿华南理工0805材料求调剂 +7 mysdl 2026-03-11 9/450 2026-03-13 22:43 by JourneyLucky
[考研] 一志愿西南交大，材料专硕317求调剂 +5 lx8568 2026-03-11 5/250 2026-03-13 21:43 by peike
[考研] 0703化学一志愿211 总分320求调剂 +5 玛卡巴卡啊哈 2026-03-11 5/250 2026-03-13 21:40 by JourneyLucky
[考研] 332求调剂 +3 Zz版 2026-03-13 3/150 2026-03-13 20:36 by 18595523086
[考研] 求调剂 +5 一定有学上- 2026-03-12 5/250 2026-03-13 18:31 by ms629
[考研] 293求调剂 +3 世界首富 2026-03-11 3/150 2026-03-13 16:27 by JourneyLucky
[考研] 一志愿211化学学硕310分求调剂 +8 努力奋斗112 2026-03-12 9/450 2026-03-13 15:41 by JourneyLucky
[考研] 290求调剂 +7 ADT 2026-03-12 7/350 2026-03-13 15:17 by JourneyLucky
[考研] 工科0856专硕化学工程269能调剂吗 +10 我想读研11 2026-03-10 10/500 2026-03-13 10:14 by Yuyi.
[考研] 420求调剂 +4 莫向外求11 2026-03-10 6/300 2026-03-12 14:41 by ruiyingmiao
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭