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EBL光刻胶
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| 电子束刻蚀用的光刻胶除了PMMA还有那些啊，尤其灵敏度比PMMA高的 都有哪些啊，他们的灵敏度都为多少啊？大家谁知道，谢谢了~ |
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c.z.chang
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14楼2015-07-31 11:36:30
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【答案】应助回帖
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郭凤杰: 金币+20, ★★★★★最佳答案 2012-09-22 10:26:45
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郭凤杰: 金币+20, ★★★★★最佳答案 2012-09-22 10:26:45
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UVIII是shipley很老的光刻胶了，是0.35~0.18um时代的光刻胶，本身分辨率很受限制，当年我用的时候从来没突破过0.2um，在我眼中是很烂的EBL光刻胶，因为它本身就是光学胶。 除了PMMA之外，主要的电子束光刻胶有以下几种： ZEP520：电子束正胶，做到50nm问题不大，抗刻蚀性能好，剂量高，工艺窗口较大。缺点是很难买，没有小包装。 SAL601：电子束负胶，分辨率很好，也是当年最喜欢用的胶，抗刻蚀性能好，剂量低，工艺窗口较小，工艺适应性好。缺点同样是很难买，没小包装。 HSQ：算是无机胶，分辨率极好，其他性能一般。也属于很难买的胶，有小包装。 不知道楼主说的灵敏度具体是指什么？感光的最小剂量？那么这几个都比PMMA好，SAL601最好。数据因为十多年了记不得了，你查查文献吧。 反正这些胶都是很贵，比光学胶的价格要贵几十倍。我这儿有渠道分装，大家不用买大瓶的，需要就联系我就是了。 |
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郭凤杰3楼2012-09-21 18:05:06
quanten
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