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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » 凝聚态物理 » 直流磁控溅射生长薄膜一般选择正常辉光放电区吗？
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vincentwz

铁杆木虫 (著名写手)

[交流] 直流磁控溅射生长薄膜一般选择正常辉光放电区吗？

rt！
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1楼 2012-09-10 14:11:08
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值得拥有最好

木虫 (小有名气)
★ ★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
华丽的飘过: 金币+2, 3q 2012-12-10 08:03:48
磁控溅射一般选择在非正常辉光放电区工作。因为正常辉光放电区的电流密度较小。
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2楼2012-12-07 15:45:42
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