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2个关于刻蚀的问题
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1. ion bean etching的刻蚀方法，如果用Ar+刻蚀，那么Ar+是通过什么机理产生的呢？ 2. reactive ion etching的过程中，RF power是通过什么机理产生plasma的呢？ 谢谢 |
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6楼2012-09-12 20:32:43
Jackcd12
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2楼2012-09-06 14:37:17
3楼2012-09-06 23:36:10
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4楼2012-09-07 09:09:23