24小时热门版块排行榜    

Znn3bq.jpeg
查看: 797  |  回复: 3
当前只显示满足指定条件的回帖,点击这里查看本话题的所有回帖

jamie82

木虫 (著名写手)

一三三

[求助] 如何才能防止/减轻TFT中SiN出现气泡? 已有1人参与

我们在生产LTPS-TFT时在ITO像素电极烘烤(230℃-60min)后出现Passivation层(材质为SiN,CVD成膜)气泡,有什么方法可以防止或减轻气泡发生吗?
小弟在此拜谢了!
回复此楼

» 收录本帖的淘帖专辑推荐

work

» 猜你喜欢

心怀感恩,凡人与事都值得我感恩一番。
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

lp806376231

铁虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

我们SiN膜经过退火后也起泡了,后面就不经过退火了。
科研就是要创新
4楼2014-04-26 18:51:45
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 4 个回答

wwlong

银虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

增加passivation层的depo 温度!
2楼2012-11-28 14:05:35
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

ccmybo

金虫 (著名写手)

没有遇到这样的情况~
路漫漫修远兮,吾将上下而求索!
3楼2014-04-04 16:38:29
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 303求调剂 +14 SereinQ 2026-04-10 15/750 2026-04-11 20:43 by 蓝云思雨
[考研] 求调剂 +11 翩翩一书生 2026-04-09 11/550 2026-04-11 19:57 by 逆水乘风
[考研] 085402通信工程调剂,有4项学科竞赛国奖(电赛国二),硕士研究生调剂自荐信。 +5 m永o不v言o弃m 2026-04-09 5/250 2026-04-11 09:33 by zhq0425
[考研] 材料与化工调剂 +12 否极泰来2026 2026-04-10 13/650 2026-04-11 00:28 by wangjihu
[考研] 368求调剂 +3 17385968172 2026-04-10 3/150 2026-04-10 20:12 by 电子奥德彪
[考研] 314求调剂 +18 xhhdjdjsjks 2026-04-09 19/950 2026-04-10 18:53 by HPUCZ
[考研] 273求调剂 +51 麦小叮当 2026-04-06 58/2900 2026-04-10 15:54 by jiajinhpu
[考研] 282,电气工程专业,求调剂,不挑专业 +9 jggshjkkm 2026-04-10 9/450 2026-04-10 14:55 by 逆水乘风
[考研] 调剂 +19 不逢春 2026-04-05 20/1000 2026-04-10 10:15 by may_新宇
[考研] 292求调剂 +9 笑笑袁 2026-04-09 9/450 2026-04-10 10:05 by LHGeng
[考研] 青岛科技大学材料学院,环境学院调剂补录4月10日以前都可以 +3 1青科大。 2026-04-09 5/250 2026-04-10 09:58 by 翩翩一书生
[考研] 08600生物与医药-327 +10 18755400796 2026-04-05 10/500 2026-04-10 08:14 by kangsm
[考研] 一志愿中科院105500专业总分315求调剂 +6 lallalh 2026-04-09 7/350 2026-04-09 17:51 by lallalh
[考研] 332,085601求调剂 +12 ydfyh 2026-04-09 14/700 2026-04-09 17:28 by wp06
[考研] 求机械专硕297第二批调剂 +5 拾柒12。 2026-04-08 5/250 2026-04-09 16:43 by 允当适度
[考研] 283电子信息求调剂 +4 三石WL 2026-04-08 4/200 2026-04-09 10:21 by wp06
[考博] 材料方向考博,求推荐 +3 言语aaa 2026-04-05 4/200 2026-04-08 22:22 by nxgogo
[考研] 计算机408|在校多次国家级竞赛获奖|申请调剂 +4 东山大白鹅 2026-04-05 4/200 2026-04-08 00:18 by chongya
[考研] 085602调剂 初试总分335 +10 19123253302 2026-04-05 10/500 2026-04-07 15:23 by 小乔同学ya
[考研] 085500机械专硕初试288求调剂 +3 GZJguo666- 2026-04-05 3/150 2026-04-05 18:06 by jkddd
信息提示
请填处理意见