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汕头大学海洋科学接受调剂
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jamie82

木虫 (著名写手)

一三三

[求助] 如何才能防止/减轻TFT中SiN出现气泡? 已有1人参与

我们在生产LTPS-TFT时在ITO像素电极烘烤(230℃-60min)后出现Passivation层(材质为SiN,CVD成膜)气泡,有什么方法可以防止或减轻气泡发生吗?
小弟在此拜谢了!
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心怀感恩,凡人与事都值得我感恩一番。
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wwlong

银虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

增加passivation层的depo 温度!
2楼2012-11-28 14:05:35
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ccmybo

金虫 (著名写手)

没有遇到这样的情况~
路漫漫修远兮,吾将上下而求索!
3楼2014-04-04 16:38:29
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lp806376231

铁虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

我们SiN膜经过退火后也起泡了,后面就不经过退火了。
科研就是要创新
4楼2014-04-26 18:51:45
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