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Amy937

木虫 (正式写手)

[求助] EDS 分析中衬底的影响

最近在做薄膜样品的EDX分析。根据EDX结果进行定量分析的时候,发现一个很奇怪的现象。EDS分析软件中可以设置coating layer的种类,系统分析的时候会扣除coating layer。
结果显示,没有扣除coating layer的成分分析结果和扣除coating layer 的分析结果相差很大,特别是化合物中氧的原子含量从80%降到了60%。其中,扣除coating layer 的分析结果与真实值接近,而没有扣除coating layer的结果与实际相差很远。

各位专家帮我看看,我应该采用哪个结果呢?
另外,各位做EDS 分析的时候有没有扣除镀金层呢?

[ Last edited by Amy937 on 2012-8-29 at 19:04 ]
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yinhui1111

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
Amy937: 金币+5, 有帮助, 非常感谢 2012-08-30 10:11:03
用扣过本底的啊,金是需要单独去除的。
3楼2012-08-29 19:09:05
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temedx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
Amy937: 金币+10, ★★★很有帮助, 非常感谢。下周再做一次实验,验证结果是否可信。 2012-08-30 10:10:49
你对结果很诚实,赞美一下。
我个人建议采用后者,毕竟用了仪器软件所带的功能,没有任何人为修饰。虽然氧元素的定量一般只能做为半定量结果。如果不放心,可以用另外已知的薄膜样品再做一次,看看是否正确。
Everybodyissobusymindingotherppl'sbusiness,thattheyforgettofindtheirownhappiness.
2楼2012-08-29 16:47:25
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