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Amy937木虫 (正式写手)
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EDS 分析中衬底的影响
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最近在做薄膜样品的EDX分析。根据EDX结果进行定量分析的时候，发现一个很奇怪的现象。EDS分析软件中可以设置coating layer的种类，系统分析的时候会扣除coating layer。 结果显示，没有扣除coating layer的成分分析结果和扣除coating layer 的分析结果相差很大，特别是化合物中氧的原子含量从80%降到了60%。其中，扣除coating layer 的分析结果与真实值接近，而没有扣除coating layer的结果与实际相差很远。 各位专家帮我看看，我应该采用哪个结果呢？ 另外，各位做EDS 分析的时候有没有扣除镀金层呢？ [ Last edited by Amy937 on 2012-8-29 at 19:04 ] |
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