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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » Microcontact printing 中的 oxygen plasma
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xmclove

金虫 (正式写手)

小小

[求助] Microcontact printing 中的 oxygen plasma

大家好，请问：大家做Microcontact printing时，用的oxygen plasma是什么仪器产生的，这仪器在哪买的，价位如何，先谢谢各位了。
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我就是我
1楼2012-08-27 17:35:59
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cccyer

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

plasma generator, 带氧气导入的可能要10万人民币以上
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3楼2012-09-03 12:46:37
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daidai63

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

一般  等离子刻蚀机 或是  等离子清洗机   后者 估计 5-8万人民币
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微制造
4楼2012-09-03 20:12:22
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

中科院微电子所8室，一般的等离子清洗机，通的都是氧气。机器不超过10万。
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5楼2012-09-19 00:42:20
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