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xmclove

金虫 (正式写手)

小小

[求助] Microcontact printing 中的 oxygen plasma

大家好,请问:大家做Microcontact printing时,用的oxygen plasma是什么仪器产生的,这仪器在哪买的,价位如何,先谢谢各位了。
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我就是我
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yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖

中科院微电子所8室,一般的等离子清洗机,通的都是氧气。机器不超过10万。
5楼2012-09-19 00:42:20
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