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Microcontact printing 中的 oxygen plasma
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Microcontact printing 中的 oxygen plasma
大家好,请问:大家做Microcontact printing时,用的oxygen plasma是什么仪器产生的,这仪器在哪买的,价位如何,先谢谢各位了。
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1楼
2012-08-27 17:35:59
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专业: 半导体微纳机电器件与系统
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【答案】应助回帖
中科院微电子所8室,一般的等离子清洗机,通的都是氧气。机器不超过10万。
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5楼
2012-09-19 00:42:20
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