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xmclove

金虫 (正式写手)

小小

[求助] Microcontact printing 中的 oxygen plasma

大家好,请问:大家做Microcontact printing时,用的oxygen plasma是什么仪器产生的,这仪器在哪买的,价位如何,先谢谢各位了。
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我就是我
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鹰羽龙

木虫 (著名写手)

不是很便宜
2楼2012-08-27 17:40:08
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cccyer

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

plasma generator, 带氧气导入的可能要10万人民币以上
3楼2012-09-03 12:46:37
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daidai63

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

一般  等离子刻蚀机 或是  等离子清洗机   后者 估计 5-8万人民币
微制造
4楼2012-09-03 20:12:22
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yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖

中科院微电子所8室,一般的等离子清洗机,通的都是氧气。机器不超过10万。
5楼2012-09-19 00:42:20
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