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TiAlSiN涂层

金虫 (小有名气)

[求助] 求解扩散泵塔的各级缝隙尺寸!

请问那个扩散泵里三级塔每一层的缝隙尺寸应该多大合理,一直以来我们扩散泵工作都不理想,求高手解答!
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