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URHX5454

金虫 (小有名气)

[求助] 咨询用CuIn合金靶和Se靶溅射制备CuInSe2的经验,万分感谢!

不知道论坛里那位学长学姐做过溅射制备CuInSe2的经验。
最近想用实验室已有的CuIn合金靶和Se靶溅射制备CuInSe2,溅射仪暂时只能是单靶溅射,所以只能先溅射CuIn合金靶,再替换成Se靶溅射。还有退火炉和Se粉可以做最后的Se化处理。
以上是实验室暂时拥有的条件,不知道哪位高手能指教一下,我这种方案可行吗?
PS:(1)看到有篇文献,说由Cu-In inlay target换成 Cu-In alloy target 请问这两种靶材有什么区别呢?
       (2)Se有毒,溅射的时候是否要做什么处理,机械泵的出气口是否要连接管路排放有毒气体?还有溅射Se一般需要注意些啥呢?

万分感谢提供帮助的虫友们,
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URHX5454

金虫 (小有名气)

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2楼2012-08-23 22:06:15
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URHX5454

金虫 (小有名气)

今天请教了一个高手,说:Cu-In inlay target是铜块和铟块相互镶嵌构成的靶,铜和铟均以单质的形式存在,而Cu-In alloy target顾名思义是铜和铟冶炼成的合金制作的靶材。
3楼2012-08-23 22:46:40
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URHX5454

金虫 (小有名气)

自己顶一下
4楼2012-08-25 12:01:36
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