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咨询用CuIn合金靶和Se靶溅射制备CuInSe2的经验，万分感谢！
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不知道论坛里那位学长学姐做过溅射制备CuInSe2的经验。 最近想用实验室已有的CuIn合金靶和Se靶溅射制备CuInSe2，溅射仪暂时只能是单靶溅射，所以只能先溅射CuIn合金靶，再替换成Se靶溅射。还有退火炉和Se粉可以做最后的Se化处理。 以上是实验室暂时拥有的条件，不知道哪位高手能指教一下，我这种方案可行吗？  PS：（1）看到有篇文献，说由Cu-In inlay target换成 Cu-In alloy target 请问这两种靶材有什么区别呢？ （2）Se有毒，溅射的时候是否要做什么处理，机械泵的出气口是否要连接管路排放有毒气体？还有溅射Se一般需要注意些啥呢？ 万分感谢提供帮助的虫友们，  |
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