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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » 交叉学科 » 用ALD 做ZnO掺Al
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alfie237319

金虫 (初入文坛)

[交流] 用ALD 做ZnO掺Al 已有1人参与

有用ALD 做ZnO掺Al的吗？请问用什么源最好？反应公式，感激不尽！！！！
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1楼 2012-08-17 16:39:50
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alfie237319

金虫 (初入文坛)
是的，我用是南大MO源三甲基铝，锌源用的是二乙基锌，但是好像透明导电薄膜电阻率很高，不知道ZnO:Al的比列如何调？
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3楼2012-08-19 12:33:41
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taofei

捐助贵宾 (正式写手)
铝源一般都用TMA，就是三甲基铝
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2楼2012-08-18 22:08:26
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