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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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alfie237319

金虫 (初入文坛)

[交流] 用ALD 做ZnO掺Al 已有1人参与

有用ALD 做ZnO掺Al的吗?请问用什么源最好?反应公式,感激不尽!!!!
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taofei

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铝源一般都用TMA,就是三甲基铝
2楼2012-08-18 22:08:26
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alfie237319

金虫 (初入文坛)

是的,我用是南大MO源三甲基铝,锌源用的是二乙基锌,但是好像透明导电薄膜电阻率很高,不知道ZnO:Al的比列如何调?
3楼2012-08-19 12:33:41
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