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zhangzx3091金虫 (小有名气)
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[求助]
椭偏仪的分类
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| 请问一下，激光椭偏仪和光谱椭偏仪的区别是什么？激光椭偏仪是单波长椭偏仪吗？请给予详细解答，O(∩_∩)O谢谢！！！ |
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 椭偏测量 |
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mengyonghong
银虫 (小有名气)
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【答案】应助回帖
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zhangzx3091: 金币+10, ★★★★★最佳答案, 不好意思回复晚了哈，多谢 2013-03-15 18:55:33
zhangzx3091: 金币+10, ★★★★★最佳答案, 不好意思回复晚了哈，多谢 2013-03-15 18:55:33
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激光椭偏仪采用极窄带宽的激光器作为光源，在单波长下对纳米薄膜样品进行表面和界面的表征。激光椭偏仪作为常规的纳米薄膜测量工具,与光谱椭偏仪相比，具有如下特点： 1.对材料的光学常数的测量更精确：这是由激光的窄带单色性质决定的，激光带宽通常远小于1nm，因此能够更准确地获得激光波长下的材料的材料参数。 2.可对动态过程进行快速测量：激光良好的方向性使得其强度非常高，因此非常适合对动态过程的实时测量。 (注：以上来自http://www.ellitop.com.cn/cn/que ... id=270&nid=356) 以下为补充资料： 光谱椭偏仪具有宽的光谱范围，因此特别适合：（1）测量多层薄膜（层数>=3）；（2）测量膜层的基本光学常数n，k随波长的变化函数；（3）测量复杂的膜层结构，如膜层中存在交界面的、表面上微粗糙度的、超晶格结构的、梯度折射率分布结构的；（4）测量物质更多参数的，如带隙、交界面混合膜层的成分、孔隙率等。 从使用角度来看： （1）激光椭偏仪操作很方便，测量速度也快，比如ELLITOP的一键式操作，0.6s一次； （2）光谱椭偏仪在使用时，建模要稍微复杂些，测量速度也要长一些，目前有两种测量素的的，一种是摄谱型，几秒钟测量结束，另一种波长扫描式的要几分钟到几十分钟。 由此可见，二者互为补充，各有优缺点。可根据实际应用选择。 |
2楼2013-02-09 07:03:46
