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bsjia

木虫 (正式写手)

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[求助] 初次接触XPS分析，几个问题求解

本人刚刚接触XPS，前几天请人测了几样品（不含碳），看了点文献，更加迷惑了！
1. C1S校正问题。测试给我的数据中包含所测元素的窄谱和C的窄谱。所给我的数据是否是已经经过C1S校准的？分峰处理前是否需要将所给我的其他窄谱数据都加上标准C的184.8与所给C主峰结合能的差呢？所给我的仪器测得物质原子比都是我所要求的几种元素的比，不含C元素的比，但是有一个样品却列出了C所占的原子比，这是为什么，难道是这个样品C污染大？
2.分能级的问题。如As 3d 5/2 和3d 3/2 , 是测的As 3d,然后自己分峰获得5/2和5/3呢，还是测的时候直接就测3d 5/2 和3d 3/2 ？给我的数据包含仪器测得的原子比有的写As3d5,有的写As3d. 但是excel数据窄谱都写的是3d.
3. 分峰的时候半高宽有的太大，如N1s有的已经超过了3.5，我看有的书上说半高宽一般不应该超过2.7？我有的弱峰很扁平，半高宽达到10甚至20以上，是否有意义？
4.分峰的时候，一组数据分一个峰，分2个峰，谱图拟合得都很好（如下图），结合能数据似乎都有意义，怎么选择啊?
5 我溅射制备GaN, 做xps测试的N1s谱，分峰后除了397ev处的GaN, 在394-395ev之间有明显的峰位，已经做过C 峰校准标定了。，在各种手册和文献中都查不到该峰的归属，做了几个样品，都有，为什么？大家遇到这种没法归属的峰怎么办啊？非常感谢。

6,全谱扫描给我的一些数据的意义不是很清楚如：Area (P) CPS.eV Area (N) At. % PP At. % F Q SF TXFN Backgnd PP Height Counts PP Hgt (N)

分1个峰

分2个峰

[ Last edited by bsjia on 2012-8-3 at 16:32 ]

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