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求助：磁控溅射镀膜想用高分辨SEM,建议一下用什么基底
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各位大侠好，我用磁控溅射仪镀TiC薄膜，想用扫描电镜做高分辨的，但是即使用不锈钢做也会被磁化，如果用玻璃做，又会因为导电性不好导致图象模糊。 请提个建议，不胜感激！ |
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5楼2007-05-19 10:55:10
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