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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 无机非金属 » 交流探讨 » 求助：磁控溅射镀膜想用高分辨SEM,建议一下用什么基底
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zzzwwyy

铁虫 (初入文坛)

[交流] 求助：磁控溅射镀膜想用高分辨SEM,建议一下用什么基底

各位大侠好，我用磁控溅射仪镀TiC薄膜，想用扫描电镜做高分辨的，但是即使用不锈钢做也会被磁化，如果用玻璃做，又会因为导电性不好导致图象模糊。
   请提个建议，不胜感激！
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1楼 2007-05-18 15:55:25
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robinsonguo

木虫 (著名写手)
扫描做高分辨？不是很懂。

不过可以镀金，这样就导电了
引用回帖:
Originally posted by zzzwwyy at 2007-5-18 03:55 PM:
各位大侠好，我用磁控溅射仪镀TiC薄膜，想用扫描电镜做高分辨的，但是即使用不锈钢做也会被磁化，如果用玻璃做，又会因为导电性不好导致图象模糊。
   请提个建议，不胜感激！

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2楼2007-05-18 22:24:29
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magicpopo

金虫 (著名写手)

电之炼金术士
Si或者SiO2做基底
做SEM之前喷金就OK了
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3楼2007-05-19 00:20:12
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wesley

Si称底，

喷金，ok
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4楼2007-05-19 08:43:43
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phoenixking

木虫 (正式写手)
没有搞清楚意思，不过一般薄膜的透射电镜不都是溅射在nacl或者KCL基底上么？用水溶掉基底，铜网捞起  离子束减薄 ok！
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5楼2007-05-19 10:55:10
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magicpopo

金虫 (著名写手)

电之炼金术士
楼上说的是透射电镜，TEM
我们在说的是扫描电镜，SEM
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6楼2007-05-19 10:58:50
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phoenixking

木虫 (正式写手)
没有搞清楚意思，不过一般薄膜的透射电镜不都是溅射在nacl或者KCL基底上么？用水溶掉基底，铜网捞起  离子束减薄 ok！
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7楼2007-05-19 11:12:21
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robinsonguo

木虫 (著名写手)
如果是SEM，没听说过高分辨SEM是什么意思。
做的方法：表面镀金膜就可以导电，可以做SEM。

如果是高分辨TEM，方法：
硅衬底或者玻璃衬底，
用刀划出一些刻线，井字形，
然后滴上氢氟酸，腐蚀用，
稍后将材料放到水中（平放，入水），
就可以看到有一些漂浮的薄膜在水上，
用铜网小心的打捞，
就可以做TEM了。
引用回帖:
Originally posted by zzzwwyy at 2007-5-18 03:55 PM:
各位大侠好，我用磁控溅射仪镀TiC薄膜，想用扫描电镜做高分辨的，但是即使用不锈钢做也会被磁化，如果用玻璃做，又会因为导电性不好导致图象模糊。
   请提个建议，不胜感激！

[ Last edited by robinsonguo on 2007-5-22 at 10:44 ]
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8楼2007-05-19 16:06:49
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zzzwwyy

铁虫 (初入文坛)
也是当时没以考虑好。分析方法太多，都不知道自己到底想要什么结果，它又对应哪种方法。头脑混沌中。
    小虫子我感激不尽！
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9楼2007-05-21 22:28:54
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