24小时热门版块排行榜    

查看: 911  |  回复: 8
当前主题已经存档。

zzzwwyy

铁虫 (初入文坛)

[交流] 求助:磁控溅射镀膜想用高分辨SEM,建议一下用什么基底

各位大侠好,我用磁控溅射仪镀TiC薄膜,想用扫描电镜做高分辨的,但是即使用不锈钢做也会被磁化,如果用玻璃做,又会因为导电性不好导致图象模糊。
   请提个建议,不胜感激!
回复此楼
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

robinsonguo

木虫 (著名写手)

扫描做高分辨?不是很懂。

不过可以镀金,这样就导电了
引用回帖:
Originally posted by zzzwwyy at 2007-5-18 03:55 PM:
各位大侠好,我用磁控溅射仪镀TiC薄膜,想用扫描电镜做高分辨的,但是即使用不锈钢做也会被磁化,如果用玻璃做,又会因为导电性不好导致图象模糊。
   请提个建议,不胜感激!

2楼2007-05-18 22:24:29
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

magicpopo

金虫 (著名写手)

电之炼金术士

Si或者SiO2做基底
做SEM之前喷金就OK了
3楼2007-05-19 00:20:12
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

wesley

Si称底,

喷金,ok
4楼2007-05-19 08:43:43
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

phoenixking

木虫 (正式写手)

没有搞清楚意思,不过一般薄膜的透射电镜不都是溅射在nacl或者KCL基底上么?用水溶掉基底,铜网捞起  离子束减薄 ok!
5楼2007-05-19 10:55:10
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

magicpopo

金虫 (著名写手)

电之炼金术士

楼上说的是透射电镜,TEM
我们在说的是扫描电镜,SEM
6楼2007-05-19 10:58:50
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

phoenixking

木虫 (正式写手)

没有搞清楚意思,不过一般薄膜的透射电镜不都是溅射在nacl或者KCL基底上么?用水溶掉基底,铜网捞起  离子束减薄 ok!
7楼2007-05-19 11:12:21
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

robinsonguo

木虫 (著名写手)

如果是SEM,没听说过高分辨SEM是什么意思。
做的方法:表面镀金膜就可以导电,可以做SEM。

如果是高分辨TEM,方法:
硅衬底或者玻璃衬底,
用刀划出一些刻线,井字形,
然后滴上氢氟酸,腐蚀用,
稍后将材料放到水中(平放,入水),
就可以看到有一些漂浮的薄膜在水上,
用铜网小心的打捞,
就可以做TEM了。
引用回帖:
Originally posted by zzzwwyy at 2007-5-18 03:55 PM:
各位大侠好,我用磁控溅射仪镀TiC薄膜,想用扫描电镜做高分辨的,但是即使用不锈钢做也会被磁化,如果用玻璃做,又会因为导电性不好导致图象模糊。
   请提个建议,不胜感激!

[ Last edited by robinsonguo on 2007-5-22 at 10:44 ]
8楼2007-05-19 16:06:49
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

zzzwwyy

铁虫 (初入文坛)

也是当时没以考虑好。分析方法太多,都不知道自己到底想要什么结果,它又对应哪种方法。头脑混沌中。
    小虫子我感激不尽!
9楼2007-05-21 22:28:54
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 学员DmfhnN 的主题更新
普通表情 龙 兔 虎 猫 高级回复 (可上传附件)
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 售SCI一区T0P文章,我:8O.55.1.O.5.4,科目齐全,可+急 +6 ncTVBM6AOJHF 2026-11-04 12/600 2026-11-06 01:40 by qL1cU46YIdK0
[硕博家园] 售SCI一区文章,我:8.O.551.O.5.4,科目全,可伽急 +5 ncTVBM6AOJHF 2026-11-04 10/500 2026-11-06 01:40 by qL1cU46YIdK0
[考研] 售一区SCI文章T0P,我:8O.551.O54,科目全,可十急 +4 ncTVBM6AOJHF 2026-11-04 14/700 2026-11-06 01:29 by qL1cU46YIdK0
[硕博家园] 售SCI一区文章,我:8O5.5.1.O5.4,科目全,可伽急 +4 ncTVBM6AOJHF 2026-11-04 11/550 2026-11-06 01:29 by qL1cU46YIdK0
[硕博家园] 售SCI一区T0P文章,我:8O.55.1.O.54,科目全,可伽急 +5 ncTVBM6AOJHF 2026-11-04 11/550 2026-11-06 01:20 by qL1cU46YIdK0
[公派出国] 售SCI一区T0P文章,我:8.O.55.1.O.5.4,科目全,可+急 +3 PYZmcHr5kSaq 2026-11-05 6/300 2026-11-06 00:01 by qL1cU46YIdK0
[考研] 售SCI一区T0P文章,我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可+急 +3 ELBZ6WwEaRj6 2026-11-05 6/300 2026-11-05 23:30 by qL1cU46YIdK0
[基金申请] 售SCI一区文章,我:8O5.5.1.O5.4,科目全,可伽急 +4 ELBZ6WwEaRj6 2026-11-04 9/450 2026-11-05 23:28 by qL1cU46YIdK0
[考博] 售SCI一区文章,我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可伽急 +3 ELBZ6WwEaRj6 2026-11-04 9/450 2026-11-05 23:28 by qL1cU46YIdK0
[考研] 售SCI一区T0P文章,我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可+急 +3 ELBZ6WwEaRj6 2026-11-04 6/300 2026-11-05 23:19 by qL1cU46YIdK0
[考博] 售SCI一区T0P文章,我:8.O.55.1.O54,科目全,可伽急 +4 kvewwGtKktqB 2026-11-04 9/450 2026-11-05 22:55 by qL1cU46YIdK0
[公派出国] 售SCI一区T0P文章,我:8.O.55.1.O54,科目全,可伽急 +5 kvewwGtKktqB 2026-11-04 13/650 2026-11-05 22:55 by qL1cU46YIdK0
[硕博家园] 售SCI一区T0P文章,我:8O.55.1.O.5.4,科目齐全,可+急 +6 kvewwGtKktqB 2026-11-04 14/700 2026-11-05 22:46 by qL1cU46YIdK0
[考博] 售SCI一区T0P文章,我:8.O55.1.O.54,科目全,可十急 +6 ncTVBM6AOJHF 2026-11-04 15/750 2026-11-05 22:44 by qL1cU46YIdK0
[公派出国] 售SCI-T0P文章,我:8O.5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +4 ELBZ6WwEaRj6 2026-11-04 8/400 2026-11-05 20:54 by qL1cU46YIdK0
[硕博家园] 售一区SCI文章T0P,我:8O.551.O54,科目全,可十急 +4 ELBZ6WwEaRj6 2026-11-04 7/350 2026-11-05 20:43 by qL1cU46YIdK0
[硕博家园] 售SCI一区T0P文章,我:8.O55.1.O.54,科目全,可十急 +4 hNpp4Y2CGvSC 2026-11-04 11/550 2026-11-05 20:21 by qL1cU46YIdK0
[考博] 售SCI一区T0P文章,我:8.O.55.1.O.5.4,科目全,可+急 +6 ncTVBM6AOJHF 2026-11-04 9/450 2026-11-05 20:10 by qL1cU46YIdK0
[教师之家] 售SCI一区T0P文章,我:8O.55.1.O.54,科目全,可伽急 +4 ncTVBM6AOJHF 2026-11-04 12/600 2026-11-05 11:10 by PYZmcHr5kSaq
[基金申请] 各位基础老师们,看完中央《从严治党》的决定后,对学术界更加有信心了吧 +5 iaeyuan 2026-11-01 5/250 2026-11-04 14:43 by jinchengzi
信息提示
请填处理意见