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zzzwwyy

铁虫 (初入文坛)

[交流] 求助:磁控溅射镀膜想用高分辨SEM,建议一下用什么基底

各位大侠好,我用磁控溅射仪镀TiC薄膜,想用扫描电镜做高分辨的,但是即使用不锈钢做也会被磁化,如果用玻璃做,又会因为导电性不好导致图象模糊。
   请提个建议,不胜感激!
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robinsonguo

木虫 (著名写手)

扫描做高分辨?不是很懂。

不过可以镀金,这样就导电了
引用回帖:
Originally posted by zzzwwyy at 2007-5-18 03:55 PM:
各位大侠好,我用磁控溅射仪镀TiC薄膜,想用扫描电镜做高分辨的,但是即使用不锈钢做也会被磁化,如果用玻璃做,又会因为导电性不好导致图象模糊。
   请提个建议,不胜感激!

2楼2007-05-18 22:24:29
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magicpopo

金虫 (著名写手)

电之炼金术士

Si或者SiO2做基底
做SEM之前喷金就OK了
3楼2007-05-19 00:20:12
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wesley

Si称底,

喷金,ok
4楼2007-05-19 08:43:43
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phoenixking

木虫 (正式写手)

没有搞清楚意思,不过一般薄膜的透射电镜不都是溅射在nacl或者KCL基底上么?用水溶掉基底,铜网捞起  离子束减薄 ok!
5楼2007-05-19 10:55:10
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magicpopo

金虫 (著名写手)

电之炼金术士

楼上说的是透射电镜,TEM
我们在说的是扫描电镜,SEM
6楼2007-05-19 10:58:50
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phoenixking

木虫 (正式写手)

没有搞清楚意思,不过一般薄膜的透射电镜不都是溅射在nacl或者KCL基底上么?用水溶掉基底,铜网捞起  离子束减薄 ok!
7楼2007-05-19 11:12:21
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robinsonguo

木虫 (著名写手)

如果是SEM,没听说过高分辨SEM是什么意思。
做的方法:表面镀金膜就可以导电,可以做SEM。

如果是高分辨TEM,方法:
硅衬底或者玻璃衬底,
用刀划出一些刻线,井字形,
然后滴上氢氟酸,腐蚀用,
稍后将材料放到水中(平放,入水),
就可以看到有一些漂浮的薄膜在水上,
用铜网小心的打捞,
就可以做TEM了。
引用回帖:
Originally posted by zzzwwyy at 2007-5-18 03:55 PM:
各位大侠好,我用磁控溅射仪镀TiC薄膜,想用扫描电镜做高分辨的,但是即使用不锈钢做也会被磁化,如果用玻璃做,又会因为导电性不好导致图象模糊。
   请提个建议,不胜感激!

[ Last edited by robinsonguo on 2007-5-22 at 10:44 ]
8楼2007-05-19 16:06:49
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zzzwwyy

铁虫 (初入文坛)

也是当时没以考虑好。分析方法太多,都不知道自己到底想要什么结果,它又对应哪种方法。头脑混沌中。
    小虫子我感激不尽!
9楼2007-05-21 22:28:54
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