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perfectmao

银虫 (小有名气)


[交流] MOS器件中,为什么生长HfO2用ALD,而不用MBE。

MOS器件中,为什么生长HfO2用ALD,而不用MBE。
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bazhuayuyu

木虫 (著名写手)



perfectmao(金币+1): 谢谢参与
ALD大面积均匀性更好,更适合工业化,另外它是低温工艺
58楼2012-11-19 00:35:26
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tangshi141

木虫 (正式写手)



perfectmao(金币+1): 谢谢参与
说说自己的看法 有问题还请大家指正 MBE均匀性是好 但是慢而且贵 又不是做材料开发 做半导体器件ALD的均匀性足够了
11楼2012-07-14 22:37:45
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AnnF7楼
2012-07-14 22:18   回复  
perfectmao(金币+1): 谢谢参与
AnnF8楼
2012-07-14 22:19   回复  
perfectmao(金币+1): 谢谢参与
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